《集成电路制造工艺》课程标准（教学大纲）

课程名称： 集成电路制造工艺

适用学历层次：  高职

学分：         3

学时：         44

建议开课学期：  第二学年下

适用专业：      微电子技术

课程类型：      理论课

授课方式：      在线课程

前导课程：      集成电路导论

后续课程：      无

一、 课程简介

本课程是专业基础课程。包括：半导体材料基础，半导体单步工艺，半导体成套工艺，半导体工艺仿真基础，半导体单步工艺实验，半导体成套工艺实验等。

二、 教学目标

学生通过本课程的学习，将具备以下知识、能力、素质，能够：

1.  了解半导体材料基础知识

2. 理解半导体单步工艺原理

3. 掌握半导体成套工艺原理

4. 理解半导体工艺仿真基础

5. 熟练完成半导体单步工艺实验

6. 灵活应用单步工艺，实现半导体成套工艺实验